激光清洗機技術是使用高頻短脈沖激光作為工作介質的清潔解決方案。特定波長的高能光束被銹蝕層、油漆層、污染層吸收,形成急劇膨脹的等離子體,同時產生沖擊波,沖擊波使污染物變成碎片并被剔除從而達到潔凈化的工藝過程。
目前,激光清洗技術包括干式激光清洗技術、濕式激光清洗技術和激光等離子體沖擊波技術等3種清洗方式。
1、干式激光清洗即脈沖激光直接照射清洗工件,使基底或表面污染物吸收能量溫度升高,產生熱膨脹或基底熱振動,進而使二者分離。該方法大致分為2種情況:一種是表面污染物吸收激光膨脹;另一種是基底吸收激光產生熱振動。
2、濕式激光清洗是在脈沖激光照射待洗工件前,先進行表面預涂液膜,在激光的作用下液膜溫度快速升高而氣化,氣化的瞬間產生沖擊波,作用在污染物顆粒中,使其從基體上脫落。此方法要求基體與液膜不能發生反應,故限制了應用材料的范圍。
3、激光等離子體沖擊波是在激光照射過程中擊穿空氣介質而產生球狀等離子體沖擊波,沖擊波作用在待洗基體表面并且釋放能量將污染物去除;激光未作用于基體,因此對基體不產生傷害。