一、冷加工--具有很高負荷能量的(紫外)光子,可以打斷資料(特別是有機資料)或四周介質內的化學鍵,至使資料發作,非熱過程毀壞。這種冷加工在激光標志加工中具有特殊的意義,由于它不是熱燒蝕,而是不產生熱損傷反作用的,打斷化學鍵的冷剝離,因此對被加工外表的里層和左近區域不產生加熱或熱變形等作用,例如,電子工業中運用準分子激光器在基底資料上堆積化學物質薄膜,在半導體基片上開出狹窄的槽。
二、熱加工--具有較高能量密度的激光束(它是集中的能量流),映照在被加工資料外表上,資料外表吸收激光能量,在映照區域內產生熱激起過程,從而使資料外表(或涂層)溫度上升,產生變態,熔融,燒蝕,蒸發等現象。