（1）零件的尺寸精度

激光切割的熱變形很小，切割零件的尺寸精度主要取決于切割設備（包括驅動式工作平臺）的機械精度和控制精度。

在脈沖激光切割中，采用高精度的切割設備和控制技術，尺寸精度可到達微米級。CO2脈沖激光切割3mm厚的高碳鋼時尺寸偏向小于50μm。

（2）切口質量

激光切割的切口質量主要包括切口寬度、切割面的傾斜角和切割面粗糙度等。

1）切口寬度

激光切割金屬資料時，切口寬度同光束形式和聚焦后光斑直徑有很大的關系。依據光束形式和焦距，CO2激光束聚焦后的光斑直徑普通在0.15～0.3mm之間。

切割低碳鋼薄板時，在恰當加快切割速度的狀況下，由于焦點設在工件的外表，切口寬度大致上等于光斑直徑。隨著切割板厚的增加，切割速度也降落，就構成上寬下窄的楔形切口，而且上部的切口寬度通常也大于光斑直徑。

CO2激光切割碳素鋼時，切口寬度普通約為0.2～0.3mm。

2）切割面的傾斜角（θ）

激光切割厚板時，通常切口呈上寬下窄的楔形切口，有時切口下緣也呈現倒V形。

切割面的傾斜角θ與切割方向有關。CO2連續激光切割八邊形碳素鋼試件時切割面的傾斜角